聚焦离子束（FIB）将离子源（Ga）产生的离子束经过离子枪加速、聚焦后作用于样品表面，再结合扫描电子束可实现微纳米尺度下的切割、加工、表征等工作。

原子力显微镜（AFM）是一种用于研究物质表面微观结构的重要工具，包括表面形貌、粗糙度、相位图等。此方法具有极高的分辨率，能达到原子级别；可在多种环境下工作，不需要复杂的真空环境；不仅能测量导体、半导体，还能对绝缘体进行测量。

透射电子显微镜（TEM）是一种利用电子束透射样品并形成影像的显微镜，以其高分辨率的成像和分析能力在纳米级器件的表征和操作中发挥着重要作用，其晶格分辨率可达0.1nm左右。

扫描电镜（SEM）是一种用于观察材料微观结构的重要仪器。主要用于观察、分析、记录样品的微观形貌，其内部搭配的能谱仪主要用于样品元素分析，可做线扫，面扫。

椭偏仪是一种用于测量材料光学特性的精密光学仪器。多用于测量单层或多层薄膜厚度d；单层或多层薄膜光学常数如折射率n及消光系数k。

台阶仪是一种用于测量材料表面微观形貌和尺寸的精密仪器，主要用于薄膜材料厚度测量。可获得精确定量的台阶高度，线粗糙度，薄膜曲率半径，应力测试，表面3D形貌等测试功能。