1.电子束流范围:1pA-400nA;
2.着陆能量范围: 20eV-30keV;
3.加速电压范围:200V-30kV;
4.最大水平视场宽度:7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作距离下为7.0mm;
5.加速电压范围:500V-30kV;
6.离子束流范围:1.5pA-65nA;
7.样品台和样品 灵活五轴电动样品台;
8.XY范围:110mm;z范围:65mm; 旋转:360(连续);
9.倾斜范围:-15°到 +90%，XY重复精度:3m;
10.最大样品高度:与优中心点间隔85mm;
11.最大样品质量(0°倾斜):2kg(包括样品托);
12.最大样品尺寸:可沿X、Y轴完全旋转时直径为110mm(若样品超出此限值,则样品台行程和旋转会受限)。