AFM

原子力显微镜（AFM）是一种用于研究物质表面微观结构的重要工具，包括表面形貌、粗糙度、相位图等。此方法具有极高的分辨率，能达到原子级别；可在多种环境下工作，不需要复杂的真空环境；不仅能测量导体、半导体，还能对绝缘体进行测量。

1.XY方向扫描范围:90um*90um;z方向扫描范围:10um;

2.纵向噪音水平:<30pm RMS值;XY方向闭环噪音水平:0.15nm RMS值；

3.XY方向开环噪音水平:≤0.1nm RMS值;Z方向闭环噪音水平:35pm RMS值；

4.XYZ三方向的非线性:<0.5%;

5.样品尺寸和固定方式:210mm直径,真空吸附,≤15mm厚;

6.马达驱动样品台(XY轴):180mm*150mm可观测区域;单向2um重复性;双向3um重复性。