高标准、精细化、响应快
切割打孔工艺是利用激光或刀片将晶圆分割成单个芯片,结合激光钻孔或机械钻孔技术在芯片上形成高精度通孔,用于引脚安装或电气连接,需严格控制边缘质量和孔深以避免损伤。
硅、石英、玻璃、陶瓷等
● 厚度100-700μm● 晶圆尺寸:12inch及以下●切割宽度:≤10um
硬刀:Si,Ge等
软刀:玻璃,石英,陶瓷等