椭偏仪

椭偏仪是一种用于测量材料光学特性的精密光学仪器。多用于测量单层或多层薄膜厚度d；单层或多层薄膜光学常数如折射率n及消光系数k。

1.支持8 inch及以下尺寸晶圆;

2.光斑尺寸:微光斑365μm×470μm;超微光斑60μm×120μm;

3.入射角30~ 90°, 重复性0.01°;

4.测量光谱分辨率<0.8nm@633nm;

5.光谱范围:190~1700nm;

6.厚度测量范围:1nm~3μm;

7.准确性:厚度准确性±5Å;折射率准确性±0.005;

8.厚度重复性≤0.2 Å @120nm SiO2 on Si;折射率重复性≤0.002 @120nm SiO2 on Si。