SEM

扫描电镜（SEM）是一种用于观察材料微观结构的重要仪器。主要用于观察、分析、记录样品的微观形貌，其内部搭配的能谱仪主要用于样品元素分析，可做线扫，面扫。

1.冷场，SE分辨率0.6 nm@15kV(WD≥ 4mm，非减速模式)，0.7nm@1kV(W D≥1.5mm);

2.加速电压0.01~30kV，束流0~20nA;

3.高位二次电子探测器，SE、BSE信号接受比例0~100%任意调节;

4.镜筒内半导体式背散射电子探测器:≥4分割;

5.能谱仪:分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积100mm²。