TEM

透射电子显微镜(TEM)是一种利用电子束透射样品并形成影像的显微镜,以其高分辨率的成像和分析能力在纳米级器件的表征和操作中发挥着重要作用,其晶格分辨率可达0.1nm左右。


1.HRTEM 线分辨率:≤0.10nm;

2.STEM 分辨率:<0.16nm(X-FEG),<0.14nm;100pA(X-CFEG);

3.Super-X EDS系统:4SDD 对称设计、无窗、遮光板保护;

4.电子能量损失光谱(EELS) 能量分辨率:0.8eV(X-FEG),<0.3eV(X-CFEG);

5.200kV下的枪亮度:1.8X10A/cm2srad(X-FEG)2.4X109A/cm2srad(X-CFEG)。