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晶圆特氟龙夹具

晶圆特氟龙夹具

晶圆特氟龙腐蚀夹具是半导体制造和微电子加工中的关键工具，主要用于在湿法腐蚀（Wet Etching）或干法腐蚀（Dry Etching）过程中固定和保护晶圆，确保腐蚀工艺的均匀性和精确性。


1.材质：特氟龙

2.固定晶圆：防止晶圆在腐蚀液中移动或振动，确保腐蚀均匀。

3.保护特定区域：通过掩模或遮挡设计，避免非目标区域被腐蚀（如背面、边缘或特定结构）。

4.兼容腐蚀环境：耐酸碱、高温或等离子体环境（根据腐蚀工艺选择材料）。