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  铌酸锂

  • MEMS中的铌酸锂是一种具有优异压电、电光、声光等特性的功能材料，常用于制造滤波器、传感器、调制器等关键器件。

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  陶瓷片

  • MEMS中的陶瓷片通常由特定陶瓷材料制成，具有良好的机械性能、电气性能和热稳定性，可用于传感器、执行器等多种MEMS器件。

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  砷化镓

  • 砷化镓是一种重要半导体材料，电子迁移率高、频率特性好，常用于高频、微波等器件制造。

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  蓝宝石片

  • 蓝宝石片是以氧化铝为主要成分的晶体薄片，硬度高、透光性好、化学稳定性强，在光学、电子等领域应用广泛。