硅片

硅片是半导体产业的基础材料,有 N 型和 P 型掺杂类型,晶向包括 <100>、<110>、<111 > 等,常见直径为 2 - 12英寸。


类别描述
硅片

1.掺杂类型:N,P

2.晶向:<100>,<110>,<111>

3.直径:2~12英寸

4.电阻率:常用各种范围均提供,0.001~2000欧姆.厘米 

5.TTV、平整度、弯曲度、翘曲度、直径工差、厚度工差、晶向偏离度等参数按照Semi标准执行

SOI硅片

1.直径4~8英寸

2.可提供Bonding工艺SOI和Smart cut工艺SOI

3.器件层厚度最薄可到150nm,埋氧层厚度可到最薄1um 

4.可根据用户所需器件层、埋氧层、体硅各层材料的参数定制,以及多层SOI的定制

氧化硅片(国产/进口)

1.直径 1~8英寸

2.氧化层厚度:10nm~20um

3.氧化硅片是指在硅片表面存在一层氧化层,氧化层的厚度根据用户需求而定。

4. 厚度2um的氧化层,需要定制加工

5. 根据产品工艺要求可提供干湿干氧和纯干氧不同工艺氧化片

氮化硅片

1.直径2~8英寸

2.氮化硅片是指表面有氮化硅层的硅片,一般运用LPCVD沉积氮化硅层

3.加工的厚度范围从20nm—1um